Staci Moulton | 用于催化的原子层沉积 (ALD) 和粒子原子层沉积 (PALD) | 网络研讨会
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如何使用原子层沉积（PALD）进行改善锂电池性能
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MFC的高精度控制对PALD工艺至关重要。‘气体质量流量控制器精度高保证薄膜质量。MFC在PALD设备中用于精确控制气体流量，确保薄膜均匀性和工艺稳定性。
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气体质量流量控制器（MFC）在PALD粉体原子层沉积设备中的应用 气体质量流量控制器（MFC）在粉体原子层沉积，设备在薄膜沉积和材料表面改性中起着关键作用。
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【纳米技术】等离子体增强原子力沉积技术（Plasma ALD）简介
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Anti-PALD1 Antibodies | Invitrogen
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锻造纳米保形涂层—粉末原子层沉积技术的原理及应用
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