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2024年4月25日
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CVD 是 化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition）的英文缩写，是一种在高温下通过气态前驱体在基体表面发生化学反应，从而生成固态薄膜材料的工艺技术。CVD 的基本原理：将含有薄膜组成元素的气态反应物（如 SiH₄、CH₄、NH₃ 等）引入反应腔室，在加热的基体表面发生化学反应，生成固态薄膜并沉积在基体上，副产物气体则被排出。
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