UV=LIGA

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1.

Key components of the microaccelerometer are made of metal , and the microaccelerometer is fabricated by UV-LIGA.

该微加速度计以金属为核心部件材料，并采用 UV-LIGA 微工艺进行加工。

www.chinatransducers.com

2.

First , Quasi-3D metal microstructure is fabricated by UV-LIGA technology .

首先，使用 UV-LIGA 技术制作准三维金属微结构。

paper.pet2008.cn

3.

The UV-LIGA process is used to fabricate the micro gripper with SU-8 thick film .

研究中使用 UV-LIGA 制程来完成微夹持器的制作，制作材料为 SU-8 厚膜光阻。

www.etop.org.tw

4.

The process of fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro -EDM technology is presented.

研究了 UV=LIGA 和微细电火花加工技术组合制造三维金属微结构的工艺方法。

paper.pet2008.cn

5.

Process Research of Complicated Multiple -layer Microstructure Using UV-LIGA

多层复杂结构准 LIGA 一体化加工工艺的研究

6.

Fabrication of UV-LIGA micro acceleration switch

准 LIGA 微加速度开关的研制

service.ilib.cn